Описание
Установка PG3000RMX сочетает в себе несколько свойств – она может одновременно утонять пластины и удалять повреждения, микротрещины, сколы, образуемые при грубой их шлифовке.
Отличительные особенности:
- В установку PG3000RMX в дополнение к основным функциям, которые имели системы PG200/300 были добавлены функции удаления защитной пленки с тонких пластин и установки пластин на рамку для последующей резки.
- Поддерживает процессы грубой шлифовки и зачистки, полирование и окончательную промывку пластины.
- Все процессы выполняются на одном и том же рабочем столике без перемещения пластины.
- Самая малая занимаемая площадь среди аналогичных установок.
- Не наносит вред окружающей среде – повреждение поверхности пластины уменьшено при шлифовке без химических растворов.
Опции:
- Бесконтактный прибор непрерывного контроля с функцией мониторинга и измерения толщины
- Функция внешнего геттерирования
- Система очистки пластин
- Система интеграции
Области применения:
- Шлифовка и полировка пластин
- Планаризация